تم تحقيق هذا التقدم من خلال مضاعفة المعدل الذي تتعرض به قطرات القصدير المنصهر في آلة الأشعة فوق البنفسجية لشعاع ليزر ثاني أكسيد الكربون لإنشاء بلازما تنبعث منها إشعاع الأشعة فوق البنفسجية.
ومن خلال مضاعفة معدل القطرات إلى 100000 في الثانية واستخدام أسلوب تشكيل الليزر ثنائي النبض بدلاً من النبض الفردي، تم تعزيز مصدر الضوء من 600 واط إلى 1000 واط.
وقال مايكل بورفيس، كبير تقنيي ASML لمصدر الضوء بالأشعة فوق البنفسجية، لرويترز: “إنها ليست خدعة صالون أو شيء من هذا القبيل، حيث نثبت لفترة قصيرة جدًا أنه يمكن أن يعمل، إنه نظام يمكنه إنتاج 1000 واط وفقًا لنفس المتطلبات التي يمكن أن تراها عند العميل.”
يرى ASMl طريقًا إلى 1500 واط ثم إلى 2000 واط.
قامت الشركة بشحن ثمانية آلات عالية NA في العام الماضي بقيمة 380-400 مليون دولار لكل منها، وتعتزم زيادة الإنتاج إلى 20 سنويًا بحلول 2027/8.
