- هياكل الخط في الملعب 20nm مع قرص مضغوط من طرف إلى طرف (البعد الحرج)-ذات صلة بالمعادن دمشقن
- الاختبار الكهربائي على خطوط الروثينيوم 20nm ملعب تم الحصول عليها باستخدام حفر المعدن المباشر
من اليسار: هياكل خط الملعب 20nm 11nm و 13nm tip-tip cd ، وملعب 18nm مع 16nm tip-tip
لقد عملت مع شركة المعدات الحجرية AMSL.
“بعد افتتاح مختبر ASML-IMEC High-Na EUV المشترك في Veldhoven ، قام IMEC ونظامه الإيكولوجي للشركاء بخطوات كبيرة في تقدم الطباعة الحجرية وإطلاق الصناعة في عصر Angstrom” ، قال IMEC VP من Scaling Steven Scheer. “تمثل النتائج المقدمة معلمًا جديدًا ، مما يؤكد قيادة IMEC في Litho R&D ، كما أنها تلعب دورًا مهمًا في تحقيق طموحات قانون الرقائق الأوروبية لتمكين العقد المنطقية الفرعية 2NM.”
كشفت IMEC عن هياكل خط المعادن في الملعب 20nm في الطباعة الحجرية المتقدمة والنقش في فبراير ، والمعلم الذي يزعم الآن أنه لهياكل خط الملعب 20nm مع توحيد الأبعاد الحرج المحلية مثل 3nm ، و 13nm tip to-sd.
تم الحصول على النتائج مع أكسيد المعادن مقاوم محسّن مع شكل ترمش وإضاءة وإضاءة القناع.
هناك حاجة إلى مثل هذه الهياكل إذا تم مقاطعة خطوط المعدن ، هل يجب أن تكون عند الاتصال ببعض البوابات في ICS المنطقية.
يتوقع المختبر مسافة طرف إلى طرف إلى المقياس إلى 13 نانومتر وأسفل دون فقدان الوظيفة لتلبية خريطة الطريق المنطقية للمعادن 20nm. وقالت: “التطورات مستمرة لمزيد من الأبعاد إلى حد كبير ، مع نتائج واعدة لـ 11 نانومتر ، ونقل الهياكل إلى قناع صلب أساسي يتيح ربط دمشق حقيقي”.
من المتوقع أن تكون هناك حاجة إلى مخططات المعادن البديلة أقل من 20 نانومتر ، وهذا هو السبب في أن المختبر أراد إظهار توافق الحفر المعدني المباشر للروثينيوم (RU) مع الطباعة الحجرية ذات التعرض العالي EUV.
imec 18nm pitch metal etch etch ruthenium بعد التعرض أحادي التعرض عالي النيوف الحجرية EUV
لقد حققنا خطوط RU في الملعب 20nm و 18nm ، بما في ذلك الهياكل إلى طرف إلى طرف 15 نانومتر والتوصيلات الوظيفية ذات المقاومة المنخفضة “، قال IMEC:” بالنسبة إلى هياكل خط المعادن في الملعب 20nm ، تم الحصول على عائد اختبار كهربائي قدره 100 ٪. “
تم تحقيق النتائج جزئيًا من خلال خط التجريبي “النانوي” للاتحاد الأوروبي ، وسيتم تقديم ورقة مؤتمر 13686-4 “تقدم المقاومة الجافة نحو خطوط الجيل القادم في الطباعة الحجرية عالية NA EUV.
